适用于半导体和电子制造的高性能塑料解决方案

用于半导体和电子制造的高性能塑料解决方案

Façade Creations是一家全球领先的工程塑料和高性能塑料解决方案制造商,产品广泛应用于半导体和电子制造设备及组件。我们采用先进热塑性塑料制成的化合物、可加工型材和成品组件,在几乎所有主流半导体制造设备中都拥有卓越的应用记录,涵盖湿法工艺、化学机械抛光、等离子刻蚀、沉积、光刻、测试、组装、封装等整个制造流程。.

制造过程的每个阶段都面临着各自的挑战:从极高的温度,到强腐蚀性化学品的侵蚀,再到极其严格的纯度要求、极其严苛的设计和加工公差,以及真空环境下的等离子体处理。Façade Creations 与众多领先的设备和系统制造商紧密合作,打造了一系列专用半导体塑料产品组合,这些塑料能够承受这些严苛的加工条件,同时提升零件性能,最大限度地减少污染和缺陷,并降低总体拥有成本。.

联系我们的团队

(不过,如果您想直接与我们联系,请致电我们的航空航天团队或发送电子邮件,我们会尽快回复。)

团队联系表

姓名(必填)
应用说明、材料要求、数量、图纸(如有)
最大文件大小:128 MB。.

外立面设计半导体塑料的优势

  • 运行可靠性
  • 尺寸稳定性
  • 生产率
  • 供应可靠性

通过使用完全相同的材料和部件来提高运行可靠性

Façade Creations 的半导体材料和部件均按照半导体“完全复制”要求(也称 CE)进行加工,并采用最严格的污染和质量控制标准。公司拥有完整的内部价值链——从原材料检验、配料、挤出和压缩成型、机械加工到后续加工——确保了每个工艺步骤的可追溯性和半导体专用质量检验。此外,整合整个价值链还能实现一致的完全复制管理,涵盖所有主要内部工艺步骤的锁定和变​​更通知。通过这种方式,Façade Creations 确保了远超行业标准的洁净度和质量性能一致性,从而保障半导体制造设备组件的可靠运行。.

通过提高尺寸稳定性,实现更快的加工周期和更高的成品率。

高性能塑料常用于半导体制造设备部件,这些部件在制造过程中以及长期使用后都必须保持严格的公差。挤出板材尤其面临着尺寸稳定性方面的挑战,而要达到如此严格的公差要求更是难上加难。Façade Creations 通过优化制造工艺,成功地将内部应力降低到前所未有的水平。由此,我们研发出了新一代高性能塑料,能够满足市场最高的应用需求。低内部应力意味着在加工和使用过程中弯曲和翘曲的程度更低——这对于由塑料板材加工而成、需要高平整度的部件尤为重要。更低的内部应力还允许在加工过程中使用更快的速度和进给量,并能显著减少工序间所需的退火步骤。最终,零件生产速度更快,成品率更高,从而大幅降低了成本。.

通过对原材料和组件进行彻底过滤和提纯,提高生产效率。

高性能塑料(尤其是聚苯乙烯)的制造面临着巨大的挑战,即如何减少诸如黑点、条纹、流痕和其他杂质等视觉缺陷。一些要求极高的应用需要零件表面具有极高的光学洁净度,而在某些半导体应用中,材料中的杂质甚至会对工艺良率产生不利影响。Façade Creations 的半导体制造产品线在特殊的生产条件和规范下制造,旨在最大限度地降低杂质或视觉缺陷的风险。.

凭借全球生产和交付能力,确保可靠的供应。

Façade Creations 在欧洲、亚洲和美洲多个地区拥有生产能力、仓库和客户支持中心,在为全球客户提供可靠的供应方面拥有良好的业绩记录。从配料、成型到后续加工,所有制造流程均在同一屋檐下完成,有助于最大限度地降低供应瓶颈的风险,并更有效地管理供应绩效。与优质原材料供应商的紧密合作和供应保障也有助于我们避免交付瓶颈。Façade Creations 运行高效的库存管理和全球需求计划系统,以确保半导体材料的高可用性和交付效率。.

半导体和电子制造用半成品和成品

Façade Creations 为半导体行业提供的产品

  • 形状
  • 化合物
  • 丝状物

Façade Creations 提供种类齐全的工程塑料和高性能塑料型材,适用于半导体和电子制造设备零件。我们所有半导体级塑料均按照精确复制要求和严格的污染及质量控制流程进行加工,确保最高的洁净度和性能一致性。生产过程中的特殊措施还能确保低内应力和更高的加工尺寸稳定性。.

Façade Creations备有数百种不同尺寸的现货,能够满足半导体行业的各种需求。这使得加工车间可以选择最接近的尺寸,从而减少材料浪费和成本,并最终降低整体组件成本。批量大小从用于原型项目的单个零件到大型工业批量均可满足。我们在全球各地的仓库都备有大量半导体级材料,确保即使是大批量订单也能以最快的速度交付,即所谓的“准时交付”。.

Façade Creations 致力于研发和生产特种复合材料,尤其专注于高性能工程热塑性塑料。我们为半导体和电子制造设备提供的解决方案包括摩擦学优化材料(磨损更小、摩擦更低)以及具有特定电气特性的材料。.

Façade Creations 还生产用于 3D 打印的高性能塑料丝材。公司提供现货材料,并可根据客户需求定制丝材,用于半导体和电子产品制造中的原型制作或复杂零件的制造。.

Façade Creations 为半导体行业提供的成品部件

  • 机加工零件
  • 注塑成型零件
  • 简介
  • 定制管材

Façade Creations 通过遍布欧洲、亚洲和美洲的全球加工车间网络,为半导体和电子制造设备生产复杂的零部件和组件。我们的加工能力包括机械加工、铣削、微钻孔、粘合、精加工、低张力加工退火、雕刻、组装和后续加工。严格的复制精度管理和可追溯性确保了最高的质量和性能一致性。.

Façade Creations 还利用其注塑成型工厂生产用于半导体和电子制造设备的精密零件和完整组件。我们的能力包括多组分注塑成型、嵌件/包覆成型、组装、模具制造、自动化和后续加工。.

塑料型材已广泛应用于半导体行业的诸多领域,且市场需求持续增长:塑料型材兼具优异的机械性能、隔热性能和绝缘性能,同时重量轻。我们可根据客户规格定制生产高精度塑料型材,并可根据您的几何形状、尺寸和材料要求进行个性化定制。除了定制挤出型材外,我们还提供采用热塑性拉挤成型工艺自主生产的高强度连续纤维增强型材。.

除了我们全面的库存计划外,我们还提供定制的管材、棒材和软管,用于半导体行业解决方案,可根据您的应用进行专门定制。.

半导体和电子制造设备零部件的房地产解决方案

Façade Creations 的半导体材料解决方案在以下方面提供了改进:

高温下的强度和刚度

半导体和电子制造及测试设备中的许多元件都需要耐热材料。高温环境下的元件必须保持高机械性能和尺寸稳定性,同时最大限度地减少气体逸出、浸出和颗粒生成。Façade Creations 的耐高温塑料可在高达 400°C 的工作温度下使用,具体取决于运行条件。由于破损风险更低、更易于加工且性价比更高,高性能塑料在高温应用中正日益取代陶瓷和石英。.

按材料系列划分的长期/短期耐热性指标:

物质家族
PI
窥视
聚四氟乙烯
个人电源
爱德华王子岛
聚偏氟乙烯
长期耐热性
300°C
260°C
260°C
230°C
170°C
150°C
短期耐热性
400°C
300°C
260°C
260°C
200°C
150°C

离子纯度高,低脱气量

即使是微量的外来分子,特别是金属,也会导致严重的工艺性能下降,并降低产量。尤其是在节点数量减少的先进工艺中,使用超洁净材料制造设备部件是最大限度减少空气分子污染 (AMC) 以及材料挥发、浸出和颗粒脱落造成的颗粒污染的关键。.

Façade Creations 的半导体材料解决方案基于精选的高纯度聚合物,这些聚合物在晶圆接触的关键半导体制造设备组件中拥有成熟的应用经验。从原材料检验、配制和成型到后续加工,整个价值链均在特殊条件和规范下进行,旨在最大程度地降低杂质风险。我们所有聚酰亚胺、PEEK、PPS 和 PET 基材料的痕量金属含量均保持在极低的百万分之一水平,并通过 ICP-MS 测试验证。.

在腐蚀性化学品中的长期性能

晶圆加工和清洗过程中会用到各种腐蚀性化学品。因此,湿法工艺设备组件必须具备足够的耐化学腐蚀性能,以确保零件性能、延长组件寿命并降低污染风险。零件表面的腐蚀会破坏其最终形状,并使基片沾染颗粒;化学降解还会损害机械性能,并可能导致关键零件失效。.

Façade Creations 提供一系列具有高耐化学性的塑料,几乎适用于所有晶圆加工环境。一般来说,PPS 和 PTFE 等材料对大多数常见的湿法化学品(包括氢氟酸、硫酸和过氧化氢)具有极强的耐腐蚀性;PEEK 和 PEI 对多种溶剂和酸具有良好的耐腐蚀性;PVDF 对强酸的耐腐蚀性尤为出色,但对丙酮等溶剂的耐腐蚀性稍差。塑料的耐化学性高度依赖于温度和操作条件,因此我们很乐意根据您的具体工艺化学条件,为您推荐最佳材料。.

静电放电 (ESD) 防护

静电放电 (ESD) 管理对于半导体和电子制造设备至关重要,因为电荷吸引粒子或放电造成的集成电路损坏会严重影响良率。Façade Creations 拥有丰富的电改性塑料产品组合,在对静电放电高度敏感的半导体和电子制造工艺中,例如晶圆移动组件、芯片运输托盘、集成电路测试插座和电子夹具,都拥有良好的应用记录。.

  • 导电塑料 ——表面电阻率为 10² – 10⁴ Ω/sq,使材料能够快速释放电荷。
  • 耗散型塑料 ——表面电阻率为 10⁶ – 10⁹ Ω/sq,可实现更缓慢、更可控的静电荷衰减速率
  • 抗静电塑料 ——表面电阻率为 10⁹ – 10¹² Ω/sq,在我们所有电改性塑料中具有最低的电流衰减率。

除了不同的导电性水平外,我们种类繁多的聚合物具有不同的物理和热性能,使客户能够找到最适合其应用需求的材料。.

对高能等离子体的抵抗力

在诸如气相沉积、干法刻蚀或离子注入等半导体制造工艺中,设备组件会在真空条件下暴露于高腐蚀性等离子体中。某些等离子体工艺的工作温度超过 250°C,因此要求设备组件具备极高的热稳定性。Façade Creations 开发的半导体级聚酰亚胺材料,与行业标准聚酰亚胺和其他高性能塑料相比,具有更优异的耐等离子体和耐高温性能。在高温下更低的重量损失和刻蚀速度,能够延长部件的使用寿命,减少停机更换次数;同时,更低的材料污染,显著提高了工艺良率。.

尺寸稳定性和微加工性能

半导体和电子制造设备中的许多元件都需要精细的特征,并具备严格的设计和加工公差。通过优化制造工艺,Façade Creations 的半导体级材料具有极低的内应力,从而在加工和运行过程中确保卓越的尺寸稳定性。此外,我们的半导体级材料还采用精选聚合物,这些聚合物在热膨胀、吸水率和机械稳定性方面均表现出优异的尺寸稳定性。.

一些高端应用,例如集成电路测试插座和电子检测夹具,需要加工带有微孔的零件,有些微孔甚至小于0.1毫米。由于此类应用需要特殊的材料性能,Façade Creations 开发了一系列专用材料,这些材料具有更强的微加工性和尺寸稳定性。.

摩擦学和磨损性能

半导体和电子制造及测试设备中的许多元件都承受着高速滑动和高压。选择合适的材料至关重要,因为材料的耐磨性能直接影响元件的使用寿命、更换周期和维护成本。高磨损和颗粒脱落还会导致晶圆污染严重,并显著降低工艺良率。Façade Creations 的塑料解决方案在需要高耐磨性和高洁净度的元件领域拥有良好的口碑。.

最新监管要求

对于一家面向全球高科技应用领域提供产品的公司而言,只有最高级别的产品合规性才足够好。我们持续投入研发,并与原材料供应商和检测机构紧密合作,以满足当今最新的需求。如有需要,我们可以出具符合REACH和RoHS等一系列环境标准的合规声明。.

应用示例

晶圆载体

采用天然PEEK材料注塑成型。.

  • 公差范围窄
  • 高离子纯度和低脱气量
  • 高维稳定性
  • 高强度和高刚度
  • 良好的耐磨性

CMP 止边环

采用天然PEEK管材加工而成。.

  • 高离子纯度
  • 完全符合复制要求
  • 高强度和高刚度
  • 良好的耐磨性
  • 高维稳定性

晶圆搬运真空吸盘

采用导电性纳米级PEEK材料加工而成。.

  • 稳定的导电性,静电放电防护
  • 良好的离子纯度
  • 完全符合复制要求
  • 良好的抗冲击性
  • 良好的耐磨性

气体输送法兰

采用黑色碳纤维增强导电PEEK材料加工而成。.

  • 稳定的导电性,静电放电防护
  • 高强度和高刚度
  • 高抗蠕变性能
  • 良好的耐磨性
  • 完全符合复制要求

批量喷雾室

采用天然PVDF材料加工而成。.

  • 优异的耐化学性
  • 通过管材加工减少材料浪费
  • 良好的离子纯度
  • 尺寸稳定性好,吸水率低
  • 与其他含氟聚合物相比,具有良好的机械强度

单晶圆清洁器固定部件

采用黑色导电PEEK纳米级材料加工而成。.

  • 稳定的导电性,静电放电防护
  • 高强度和延展性
  • 良好的耐磨性
  • 加工过程中的尺寸稳定性
  • 完全符合复制要求

接触

我们很乐意就您项目所需的材料选择和半导体解决方案提供个性化建议。.

团队联系表

姓名(必填)
应用说明、材料要求、数量、图纸(如有)
最大文件大小:128 MB。.