半導体および電子機器製造向け高性能プラスチックソリューション

半導体および電子機器製造向けの高性能プラスチックソリューション

Façade Creationsは、半導体および電子機器製造装置・部品向けのエンジニアリングプラスチックおよび高性能プラスチックソリューションを提供するグローバルメーカーです。当社の先進的な熱可塑性樹脂を使用したコンパウンド、加工可能な形状、完成部品は、湿式プロセス、化学機械研磨、プラズマエッチング、成膜、リソグラフィー、テスト、組み立て、パッケージングなど、製造プロセス全体にわたるほぼすべての主要な半導体製造装置において、確かな実績を誇っています。.

製造工程の各段階には、それぞれ固有の課題が存在します。極めて高い温度、非常に腐食性の高い化学物質への曝露、極めて厳しい純度要件、極めて厳しい設計および加工公差、真空下でのプラズマとの接触などです。Façade Creationsは、多くの主要な装置およびシステムメーカーと緊密に連携することで、これらの過酷な加工条件に耐え、部品性能を向上させ、汚染や欠陥を最小限に抑え、総所有コストを削減する、半導体向け特殊プラスチックの専用ポートフォリオを確立しました。.

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ファサードクリエーションズの利点 半導体プラスチック

  • 動作信頼性
  • 寸法安定性
  • 生産量
  • 供給の信頼性

全く同じ材料と部品を使用することで、動作信頼性を向上させる。

Façade Creationsの半導体材料および部品は、半導体の「コピー・エグザクト」要件(CEマークとも呼ばれる)に準拠し、最も厳格な汚染管理と品質管理の下で加工されています。原材料検査、配合、押出成形、圧縮成形、機械加工、そしてさらなる加工に至るまで、バリューチェーン全体を社内で完結させることで、あらゆる工程において一貫したトレーサビリティと半導体特有の品質検査を実現しています。さらに、バリューチェーン全体を統合することで、主要な社内工程すべてにおいて、ロックダウンや変更通知を含む一貫したコピー・エグザクト管理が可能になります。このようにして、Façade Creationsは業界標準材料をはるかに上回るレベルの清浄度と品質性能の一貫性を確保し、半導体製造装置部品の信頼性の高い稼働を支えています。.

寸法安定性の向上により、加工サイクルが短縮され、歩留まりが向上します。

高性能プラスチックは、半導体製造装置の部品によく使用されます。これらの部品は、製造中および長期間の使用後も厳しい公差を維持する必要があるためです。特に押出成形された板材は、このような厳しい公差を実現するために必要な寸法安定性の点で大きな課題を抱えています。Façade Creationsは、製造プロセスの最適化により、これまで達成できなかったレベルまで内部応力を低減することに成功しました。その結果、市場における最高レベルの用途要求を満たすことができる、新世代の高性能プラスチックが誕生しました。内部応力が低いことで、加工中および使用中の曲がりや反りが軽減されます。これは、高い平面度が求められるプラスチックシートから加工される部品にとって特に重要です。また、内部応力が低いことで、加工時の速度と送り速度を向上させることができ、工程間の断続的な後処理焼きなまし工程の必要性を大幅に削減できます。その結果、部品の生産速度が向上し、歩留まりも改善され、コストを大幅に削減できます。.

徹底的に濾過・精製された材料と部品を使用することで、生産歩留まりを向上させる。

高性能プラスチック、特にPPSの製造においては、黒点、筋、流動痕などの視覚的な欠陥を低減することが大きな課題となります。一部の高度な用途では、部品表面の高い光学的清浄度が求められ、半導体用途においては、材料中の不純物がプロセス歩留まりに悪影響を及ぼす可能性さえあります。Façade Creations社の半導体製造向け製品ラインは、不純物や視覚的な欠陥のリスクを最小限に抑えるために設計された特別な条件と仕様に基づいて製造されています。.

グローバルな生産・配送能力により、安定した供給を確保する。

ヨーロッパ、アジア、アメリカ大陸の複数の拠点に生産能力、倉庫、カスタマーサポートセンターを擁するFaçade Creationsは、世界中の顧客に安定した供給を確保してきた確かな実績を誇ります。配合、成形、後加工に至るまで、製造プロセス全体を自社工場で完結させることで、供給ボトルネックのリスクを最小限に抑え、供給パフォーマンスをより効果的に管理しています。一流の原材料サプライヤーとの緊密なパートナーシップと供給保証も、配送ボトルネックの回避に役立っています。Façade Creationsは、効率的な在庫管理とグローバルな需要計画システムを運用し、半導体材料の高い供給能力と配送パフォーマンスを確保しています。.

半導体および電子機器製造用の半製品および完成品

半導体業界向けファサードクリエーションズ製品

  • 形状
  • 化合物
  • フィラメント

Façade Creationsは、半導体および電子機器製造装置部品向けに、幅広い種類のエンジニアリングプラスチックおよび高性能プラスチック素材を提供しています。当社の半導体グレードプラスチックはすべて、厳密なコピー要件と厳格な汚染・品質管理に準拠して加工されており、最高レベルの清浄度と品質性能の一貫性を保証します。また、製造工程における特別な対策により、加工時の内部応力を低減し、寸法安定性を向上させています。.

Façade Creationsは、数百種類もの異なる寸法を在庫しており、半導体業界のニーズに応える豊富な選択肢を提供しています。これにより、加工工場は最も近いサイズを選択でき、材料の無駄やコストを削減し、部品コスト全体の削減を実現できます。ロットサイズは、試作プロジェクト用の1個から、大規模な工業用ロットまで幅広く対応しています。世界各地の倉庫には半導体グレードの材料が豊富に在庫されており、大量のご注文でも最短時間、つまり「ジャストインタイム」でお届けいたします。.

Façade Creationsは、高性能熱可塑性樹脂およびエンジニアリング熱可塑性樹脂に重点を置いた特殊化合物の開発・製造を行っています。半導体および電子機器製造装置向けのソリューションとして、摩擦特性を最適化した材料(摩耗が少なく、摩擦が低い)や、電気特性が明確に定義された材料を提供しています。.

Façade Creations社は、3Dプリンティング用の高性能プラスチック製フィラメントも製造しています。既製の材料に加え、試作品製作や半導体・電子機器製造で使用される複雑な部品向けに、カスタマイズされたフィラメントを開発することも可能です。.

半導体業界向けFaçade Creations社製完成部品

  • 機械加工部品
  • 射出成形部品
  • プロフィール
  • 特注チューブ

Façade Creationsは、ヨーロッパ、アジア、アメリカ大陸に展開するグローバルな機械加工ネットワークを通じて、半導体および電子機器製造装置向けの複雑な部品やアセンブリを製造しています。当社の加工能力には、機械加工、フライス加工、マイクロドリル加工、接着、仕上げ加工、低張力加工用アニーリング、彫刻、組み立て、および追加加工が含まれます。厳格なコピー管理とトレーサビリティにより、最高レベルの品質と性能の一貫性を実現しています。.

Façade Creationsは、射出成形工場において、半導体および電子機器製造装置向けの精密部品および完成品アセンブリも製造しています。当社の能力には、多成分射出成形、インサート成形/オーバーモールディング、組立、金型製作、自動化、および二次加工が含まれます。.

半導体業界では既に多くの用途でプラスチックプロファイルが使用されており、市場は拡大を続けています。プラスチック製のプロファイルは、軽量でありながら優れた機械的特性、熱絶縁性、電気絶縁性を備えています。当社では、お客様の仕様に合わせて高精度のプラスチックプロファイルを製造しており、形状、寸法、材質に関するお客様のご要望を個別に考慮いたします。カスタムフィットの押出成形プロファイルに加え、熱可塑性樹脂引抜成形を用いて自社で製造した高強度連続繊維強化プロファイルもご提供しています。.

当社では、包括的な在庫プログラムに加え、お客様の用途に合わせてカスタマイズされた半導体業界向けチューブ、ロッド、ホースもご提供しています。.

半導体および電子機器製造装置部品向け不動産ソリューション

Façade Creations社の半導体材料ソリューションは、以下の分野で改善をもたらします。

高温下での強度と剛性

半導体や電子機器の製造・試験装置に使用される多くの部品には、耐熱性材料が求められます。高温環境下で使用される部品は、高い機械的特性と寸法安定性を維持しながら、ガス放出、溶出、粒子発生を最小限に抑える必要があります。Façade Creations社の耐熱プラスチックは、使用条件にもよりますが、最高400℃までの温度で使用可能です。高性能プラスチックは、破損リスクの低減、加工性の向上、コストパフォーマンスの高さから、高温用途においてセラミックや石英に取って代わりつつあります。.

材料ファミリー別の長期/短期耐熱性目安:

マテリアルファミリー
PI
ピーク
PTFE
PPS
プリンスエドワード島
PVDF
長期耐熱性
300℃
260℃
260℃
230℃
170℃
150℃
短期的な耐熱性
400℃
300℃
260℃
260℃
200℃
150℃

イオン純度と低ガス放出

微量の異物分子、特に金属分子でさえ、深刻なプロセス劣化を引き起こし、収率を低下させる可能性があります。特に、ノード数を削減した高度なプロセスにおいては、機器部品に超高純度材料を使用することが、材料からのガス放出、溶出、粒子剥離による空気中の分子汚染(AMC)や粒子汚染を最小限に抑える鍵となります。.

Façade Creationsの半導体材料ソリューションは、ウェハ接触部を持つ重要な半導体製造装置部品において実績のある、厳選された高純度ポリマーをベースとしています。原材料の検査、配合、成形から後加工に至るまで、バリューチェーン全体は不純物のリスクを最小限に抑えるために設計された特別な条件と仕様の下で行われます。ポリイミド、PEEK、PPS、PETをベースとした当社のグレードにおける微量金属含有量は、ICP-MS分析によって検証され、常に非常に低いppmレベルに抑えられています。.

腐食性化学物質に対する長期性能

ウェーハの加工および洗浄には、さまざまな強力な化学薬品が使用されます。そのため、湿式プロセス装置の構成部品は、部品の性能を確保し、部品寿命を最大化し、汚染リスクを最小限に抑えるために、十分な耐薬品性を備えている必要があります。部品表面の浸食は、部品の最終形状を損ない、基板を粒子で汚染する可能性があります。また、化学的劣化は機械的特性を低下させ、重大な部品故障につながる可能性があります。.

Façade Creationsは、ほぼすべてのウェハ処理環境に適した、高い耐薬品性を備えた幅広いプラスチック製品を提供しています。一般的な目安として、PPSやPTFEなどの材料は、フッ化水素酸、硫酸、過酸化水素など、一般的な湿式化学薬品のほとんどに対して非常に高い耐性を示します。一方、PEEKやPEIは幅広い溶剤や酸に対して良好な耐性を示し、PVDFは強酸に対して特に優れた性能を発揮しますが、アセトンなどの溶剤に対してはそれほど優れた耐性を示しません。プラスチックの耐薬品性は温度や運転条件に大きく左右されるため、お客様の特定のプロセス化学に最適な材料について喜んでアドバイスさせていただきます。.

静電気放電(ESD)防止

静電気放電(ESD)対策は、半導体および電子機器製造装置にとって非常に重要です。電荷による粒子の引き寄せや放電による集積回路の破壊は、歩留まりに重大な影響を与える可能性があるからです。Façade Creations社は、ウェーハ移動部品、チップ搬送トレイ、ICテストソケット、電子機器治具など、ESDに非常に敏感な半導体および電子機器製造プロセスにおいて、豊富な実績を持つ電気改質プラスチック製品群を提供しています。.

  • 導電性プラスチック – 表面抵抗率が10²~10⁴Ω/sqで、材料が電荷を素早く放出することを可能にする
  • 散逸性プラスチック – 表面抵抗率が10⁶~10⁹Ω/sqであり、静電荷の減衰速度を遅く制御できる。
  • 帯電防止プラスチック – 表面抵抗率10⁹~10¹²Ω/sqで、当社の電気改質プラスチックの中で最小の電流減衰率を実現

導電率の異なる製品に加え、物理的特性や熱特性の異なる幅広い種類のポリマーを取り揃えているため、お客様は用途のニーズに最適な材料を見つけることができます。.

高エネルギープラズマに対する耐性

蒸着、ドライエッチング、イオン注入などの半導体製造プロセスでは、装置部品は真空条件下で非常に攻撃的で腐食性の高いプラズマにさらされます。プラズマプロセスの中には250℃を超える温度で動作するものもあり、装置部品には高い耐熱性が求められます。Façade Creations社の半導体グレードポリイミド材料は、業界標準のポリイミドやその他の高性能プラスチックと比較して、優れた耐プラズマ性および耐熱性を提供するように開発されています。高温での重量減少とエッチング速度が低いため、部品の寿命が延び、交換による操業停止を減らすことができます。また、材料汚染が低減されるため、プロセス歩留まりが大幅に向上します。.

寸法安定性と微細加工性

半導体および電子機器製造装置に使用される多くの部品は、精密な形状と厳しい設計・加工公差が求められます。ファサード・クリエーションズは、製造プロセスの最適化により、半導体グレード材料において低い内部応力レベルを実現し、加工時および動作時における優れた寸法安定性を可能にしています。また、当社の半導体グレード材料は、熱膨張、吸水率、機械的安定性の面で高い寸法安定性を提供する厳選されたポリマーをベースとしています。.

ICテストソケットや電子検査治具などのハイエンド用途では、0.1mm以下の微細な穴が開いた機械加工部品が必要となります。こうした用途には特殊な材料特性が求められるため、Façade Creations社は、微細加工性と寸法安定性を向上させた専用製品群を開発しました。.

摩擦特性と耐摩耗性能

半導体および電子機器の製造・試験装置に使用される多くの部品は、高速摺動と強い圧力にさらされます。適切な材料を選択することは非常に重要です。なぜなら、材料の耐摩耗性能は部品の寿命、交換サイクル、およびメンテナンスコストに直接影響するからです。高い摩耗と粒子剥離は、ウェハーの汚染を招き、プロセス歩留まりを著しく低下させる可能性もあります。Façade Creations社のプラスチックソリューションは、高い耐摩耗性と高い清浄度が求められる部品において、確かな実績を誇ります。.

最新の規制要件

ハイテク分野向けにグローバルに製品を供給する企業にとって、最高レベルの製品コンプライアンスは不可欠です。当社は常に最新の要求に応えるため、研究開発への投資と原材料サプライヤーおよび試験機関との緊密な連携を継続的に行っています。ご要望に応じて、REACHやRoHSなどの幅広い環境基準に関する適合宣言書を発行いたします。.

アプリケーション例

ウェハキャリア

天然PEEK素材を射出成形して作られています。.

  • 狭い公差
  • 高いイオン純度と低いアウトガス
  • 高い寸法安定性
  • 高強度と高剛性
  • 優れた耐摩耗性

CMPストップエッジリング

天然PEEKチューブから機械加工されています。.

  • 高いイオン純度
  • 完全コピー準拠
  • 高強度と高剛性
  • 優れた耐摩耗性
  • 高い寸法安定性

ウェハ搬送用真空ワンド

導電性PEEKナノグレード材料から機械加工されています。.

  • 安定した電気伝導性、ESD保護
  • イオン純度が高い
  • 完全コピー準拠
  • 優れた耐衝撃性
  • 優れた耐摩耗性

ガス供給フランジ

黒色の炭素繊維強化導電性PEEK素材から機械加工されています。.

  • 安定した電気伝導性、ESD保護
  • 高強度と高剛性
  • 高いクリープ耐性
  • 優れた耐摩耗性
  • 完全コピー準拠

バッチ式噴霧チャンバー

天然PVDF素材から機械加工されています。.

  • 優れた耐薬品性
  • チューブからの機械加工により材料の無駄を削減
  • イオン純度が高い
  • 寸法安定性に優れ、吸水率が低い。
  • 他のフッ素ポリマーと比較して優れた機械的強度を有する

単一ウェハークリーナー保持部

黒色の導電性PEEKナノグレード素材から機械加工されています。.

  • 安定した電気伝導性、ESD保護
  • 高強度と高延性
  • 優れた耐摩耗性
  • 加工中の寸法安定性
  • 完全コピー準拠

接触

お客様のプロジェクトにおける材料選定や半導体ソリューションについて、個別にアドバイスさせていただきます。.

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